Ví dụ về các biện pháp đối phó trong ngành bán dẫn và LCD

Có thể khử tĩnh điện đáng tin cậy trong môi trường kiểm tra wafer bằng cách lắp đặt cảm biến phản hồi gần mục tiêu để cho phép giám sát liên tục khu vực mục tiêu.

Tĩnh điện có thể được khử nhanh chóng trên một diện tích rộng. Việc ghi lại kết quả khử tĩnh điện trong quá trình bóc giúp xác định nguyên nhân của vấn đề.

Việc sử dụng tính năng khử tĩnh điện tốc độ cao để ngăn chặn sự phóng điện trong quá trình tháo khuôn giúp giảm thiểu việc bảo trì cần thiết đối với các thiết bị thông thường.

Với cân bằng ion hiệu suất cao ±1 V, thiết bị có thể được sử dụng an toàn ở bất kỳ cơ sở sản xuất vật liệu bán dẫn nào. Các kết quả khử tĩnh điện trước đó cũng có thể được kiểm tra để xác định các khoảng thời gian bị ảnh hưởng trong trường hợp xảy ra sự cố.

Máy ion hóa không có không khí và tiết kiệm năng lượng giúp giảm mức tiêu thụ không khí trong nhà máy đồng thời đảm bảo hiệu suất khử tĩnh điện tiên tiến.

Lắp đặt máy ion hóa trong các phòng của buồng tắm khí—nơi có nguy cơ đưa các hạt lạ vào phòng sạch cao nhất—giúp nâng cao hiệu quả loại bỏ bụi.