Kiểm tra định hướng phôi trong bộ cộng hưởng tinh thể

Trước đây, việc kiểm tra được thực hiện bằng cách sử dụng cảm biến loại vệt/loại vệt lấy nét, nhưng các loại này rất tốn thời gian vì có liên quan đến việc di chuyển đối tượng hoạt động. Bằng cách sử dụng laser dạng dải, Sê-ri LJ-X đo ngay lập tức sự khác biệt về độ nghiêng và chiều cao giữa đóng gói và phôi. Điều này giúp rút ngắn đáng kể thời gian kiểm tra.